项目 |
电子级超纯水 |
普通超纯水 |
应用领域 |
电子行业和半导体行业 |
实验室分析、工业生产或工业清洗 |
满足国家标准 |
GB/T11446.1-2013电子级水国家标准 |
GBT6682-2008分析实验室用水国家标准和GBT33087-2016仪器分析用高纯水规格及试验方法 |
电子级EW-I和超纯水I级 |
电阻率≥18MΩ.cm(5%的时间不低于17) |
电阻率≥10MΩ.cm |
电子级EW-II和超纯水II级 |
电阻率≥15MΩ.cm(5%的时间不低于13) |
电阻率1-10MΩ.cm之间 |
全硅(ug/L) |
电子级I级≤2ppb 电子级I级≤10ppb |
I级≤10ppb II级≤20ppb |
微颗粒(个/L) |
电子级I级:对各种粒径具有要求,如0.2-0.3μm≤50个/L,0.3-0.5μm≤20个/L,0.5μm以上≤4个/L |
不做具体要求 |
细菌个数(个/ml) |
电子级I级≤0.01个 电子级II级≤0.1个 |
视不同用途,不同的要求,符合客户需求即可 |
金属离子含量(ppb) |
电子级I级:对(铜、锌、镍、钠、钾、铁、铅)都有具体的要求,且要求极高,需要控制到≤0.1ppb或0.5ppb |
超纯水I级:只有钠离子≤1ppb有要求,其他无具体要求 |
非金属离子含量(ppb) |
电子级I级:对(氟、氯、亚硝酸根、溴、硝酸根、磷酸根、硫酸根)都有具体的要求,需要控制到≤1ppb |
超纯水I级:仅对氯离子有要求需要控制到≤1ppb |
TOC值 |
电子级I级≤20ppb 电子级I级≤100ppb |
超纯水I级≤50ppb |
说明:综上所述,电子级超纯水I级对微颗粒、TOC值、细菌要求极高,因此对电子级超纯水设备的管道要求极高一般需要采用CLear-PVC或者PVDF材质,以及需要配专门的降TOC的消解器
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