您好,欢迎访四川卓越水处理设备有限公司网站!
联系我们
咨询热线
028-87501939
销售部:18030692468
客服部:028-87501939
工作QQ:3003604611
邮箱:3003604611@qq.com
传 真:028-87501939
地址:成都市金牛区金府路799号1栋1单元27楼13-14号
当前位置:首页 > 卓越资讯 > 水处理技术文章  
电子级超纯水系统的关键技术是什么
作者:admin 发布日期:2025/4/29 关注次数: 二维码分享

电子级超纯水系统的关键技术是什么

电子级超纯水(UPW)系统是半导体、光伏、显示面板等行业的核心配套设备,其水质要求极为苛刻(如电阻率≥18.2 MΩ·cm)中国电子级超纯水水质标准如下表。

表 1   电子级水的技术指标GB/T11446. 1— 2013

 

  

术指标

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

电阻率(25℃)/MΩ · cm

18            (5%时间不低于 17)

≥15            (5%时间不低于 13)

12. 0

0. 5

/(μg/L)

≤2

≤10

≤50

≤1000

 

 

粒数/ (个/L)

0. 05μm~0. 1 μm

500

0. 1 μm~0. 2 μm

300

0. 2 μm~0. 3 μm

50

0. 3 μm~0. 5 μm

20

> 0. 5 μm

4

细菌个数/(个/mL)

≤0. 01

0. 1

≤10

≤100

/(μg/L)

0. 2

≤1

≤2

≤500

/(μg/L)

0. 2

≤1

≤5

≤500

/(μg/L)

0. 1

≤1

≤2

≤500

/(μg/L)

0. 5

≤2

≤5

≤1000

/(μg/L)

0. 5

≤2

≤5

≤500

/(μg/L)

0. 1

/(μg/L)

0. 1

/(μg/L)

≤1

/(μg/L)

≤1

≤1

≤10

≤1000

亚硝酸根/(μg/L)

≤1

/(μg/L)

≤1

酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

有机碳/(μg/L)

≤20

≤100

≤200

≤1000

电子级超纯水(UPW)系统技术难点主要集中在以下几个方面:

一、原水预处理阶段的挑战

1、微量污染物去除:需去除胶体、有机物、微生物、溶解气体(如CO₂)等,传统过滤技术难以稳定达到ppb级。

2、抗污染膜设计:超滤(UF)和反渗透(RO)膜需长期耐受高污染原水,防止膜孔堵塞和性能衰减。

3、化学药剂兼容性:预处理中使用的杀菌剂、絮凝剂可能引入二次污染(如Na⁺、Cl⁻残留)。

 

二、离子去除技术的极限要求

1、二级ROEDI的协同优化:

  反渗透(RO)需实现99.5%以上的脱盐率,且需应对低TOC进水条件。

  电去离子(EDI)需在无化学再生条件下持续产出超纯水,但高纯水环境下离子迁移效率降低,易出现“极化现象”。

2、痕量离子去除技术:对BSi等弱电离物质的去除需特殊树脂或电化学工艺(如除硼核级树脂、除硅树脂)。

 

三、微生物与TOC控制的矛盾

1、超低TOC要求:需联合紫外氧化(185nm UV)、高级氧化(AOP)和特殊催化剂将有机物分解为CO₂和水,但可能产生中间产物干扰。

2、微生物抑制:管道系统需避免生物膜滋生,需采用臭氧或热消毒(80℃循环),但高温可能加速材料腐蚀。

 

四、颗粒与溶解气体的ppb级别去除

1、纳米级颗粒控制:终端过滤需使用≤0.1μm的超滤膜或纳米纤维滤芯,但压差增大易导致颗粒释放。

2、溶解氧/CO₂脱除:真空脱气膜或膜接触器需将O₂降至ppb级,CO₂需通过高pH阴离子交换树脂转化。

 

五、系统设计与超纯材料难题

1、超高洁净材料:管道、阀门需采用电抛光316L不锈钢或PVDF,表面粗糙度<0.5μm,避免离子析出。

2、零死体积设计:循环系统需保持≥1 m/s流速防止滞留污染,但高流速可能引发颗粒脱落。

3、实时监测与反馈:在线传感器(电阻率、TOC、颗粒计数器)需在超纯水环境中保持精度,避免信号漂移。

 

六、 运行维护的稳定性

1、长期可靠性:树脂、膜、EDI、过滤滤芯寿命受进水波动影响大,需预测性维护(如EDI电压监控)。

 

此文关键字: 卓水越电子级超纯水系统   
相关产品
相关新闻
在线客服
热线电话
028-87501939
18030692468
微信公众账号
微信公众账号