采购型号:卓水越电子级超纯水系统ZYUP-DEH-2500L
采购单位:四川某新材料公司
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超纯水设备在新材料领域的应用主要体现在以下方面:
半导体制造
超纯水通过双级反渗透、EDI及抛光混床等工艺,产出电阻率超过18.2 MΩ·cm的纯水,用于晶圆清洗、化学试剂配制及封装工艺。其高纯度可避免金属离子、有机物等杂质干扰光刻、蚀刻等精细操作,直接影响芯片良率和可靠性。
锂电池生产
锂电池制造需使用超纯水清洗电极材料、配制电解液,高纯度可减少杂质对电池性能的影响,提升充放电效率和安全性。
太阳能电池
超纯水用于硅片清洗和化学试剂配制,其低TOC(总有机碳)特性可避免有机物残留影响光电转化效率。
化工废水处理
中电环保等企业通过全膜法、树脂吸附等技术,将超纯水应用于新材料生产废水处理,实现废水回用及零排放,降低生产成本并减少环境污染。
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ZYUP系列
高纯水制备系统
产品说明
ZYUP系列高纯水制备系统,亦称超纯水制备系统,是通过阴阳离子混床树脂或EDI电除盐装置把纯水纯化为符合国家一级水标准的高度超纯水;通过离子交换法,使氢型树脂交换水中的阳离子、氢氧型树脂交换水中的阴离子,交换下来的H+和OH-结合成电离度很小的高纯水(H20);离子交换是一种传统的、工艺成熟的脱盐处理技术,在制备高纯水领域得到了广泛应用。
技术参数:
u 产水量:0.25m3 /h ~ 50 m3/h (参考用户用水量选型);
u 离子去除率 ≥ 99%;
u 内毒素、细菌去除率:≥ 99%;总有机碳(TOC)≤20ppb;
u 回收率:≥50% ~ 75% ;
u RO产水电导率:≤ 10~15uS/cm @25℃(原水水质TDS ≤ 400ppm);
u UP产水电阻率:≥10~18.25MΩ.cm(可根据用户水质要求选取达标的工艺);
u 出水标准:符合美国ASTM纯水水质标准;符合美国半导体工业用纯水指标;符合中国电子级水【GB/T11446.1-2013】水质标准。
u 进水要求:市政供水; 供水压力:0.2~0.4MPa;进水温度:5~40℃;
u 环境温度:5-40℃,湿度<85%RH,无粉尘和强电磁干扰;
性能特点:
u 全自动PLC控制系统,7/10寸触摸显示屏;
u 具有开机自检,缺水停电自动停机保护,来水自动开机制水,无压力保护系统,水满停机等安全装置;
u 预处理系统具备自动清洗和自动再生运行功能;
u 具备开机RO膜自动冲洗和水箱水满自动双冲洗功能,可延长RO膜寿命;
u 具备水质在线监测(电导率、电阻率双显示),流量和压力在线显示;
u 机架式设计,结构紧凑,外形美观,操作方便,完全实现人机对话,而无需专人值守;
u 设备故障具备自动报警提醒功能;
u 出水水质优良、稳定,出水pH接近中性;
u 核心部件(泵、RO膜、抛光混床树脂、EDI电除盐装置等)采用进口/ 国产合资品牌,稳定性高;
u 设备机架采用不锈钢材质,低压管路为UPVC材质,高压管路采用SUS304/316不锈钢材质;管路材质多种可选;