超滤膜(英文缩写为UF)又称为中空纤维超滤膜。孔径介于反渗透和微滤之间，约0.01～0.1μm，常用作纯水系统的后处理装置，可用于截留溶液中各种微粒、大分子溶质、细菌、病毒、热原等。超滤膜的孔径是由一定分子量的物质进行截留试验测定的，并以分子量的数值来表示，能够滤除热原的超滤膜的分子量通常为5000道尔顿（Dalton）。
UPT-Ⅲ和UPH型超纯水机设有系统自动冲洗功能，系统定期自动冲洗UF膜30秒，确保滤膜不被堵塞。
     终端微滤器单元即终端绝对过滤器(置于超纯水系统的最终出水处)，实际是孔径0.22μm的微孔滤膜过滤器，用于滤除超纯水中残留的树脂碎屑和微生物。