一、项目概述

 采购单位：天津众泰新材料有限公司

 采购型号：ZYRO-D-500L 卓水越电子级超纯水设备

合作单位

       天津众泰材料科技有限公司（以下简称“众泰”)，是一家“以先进功能性聚酰亚胺单体研发生产为核心，致力于推动全球聚酰亚胺材料产业发展”为使命的创新型高新技术企业。众泰研制的聚酰亚胺单体目前已广泛应用于无色透明柔性聚酰亚胺薄膜、柔性显示材料、5G新材料、光敏聚酰亚胺及半导体材料、新能源汽车特种绝缘材料、航空航天复合材料等诸多高科技领域产品的生产

竣工仪式

二、卓水越电子级超纯水系统概述

当今半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需要大量的纯水、超纯水清洗成品、半成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级超纯水为四个等级，分别为EW-I级≥18MΩ·cm，全硅≤2ug/L、EW-II级≥15MΩ·cm，全硅≤10ug/L，EW-III级≥12MΩ·cm，全硅≤50ug/L、EW级≥0.5MΩ·cm，全硅≤100ug/L 以区分不同的电子级超纯水水质。其中对于超纯水关键的指标如：电导率（电阻率）、总硅、PH值、颗粒度、微生物等均由不同的要求。因此线路板、电路板使用纯水、超纯水因为本身工艺流程的不同对超纯水制造的工艺也不同。

安装图片

三、卓水越电子级超纯水系统工艺流程：

1、预处理系统→一级反渗透→中间水箱→二级反渗透→EDI装置→氮封水箱→供水泵→TOC降解器→抛光混床→精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)

四、卓水越电子级超纯水系统设备特点：

电子半导体超纯水系统通常直接接入国家自来水标准的水为源水，通常有多介质过滤器，活性炭过滤器，软化器等构成预处理系统，另有双级反渗透主机系统，离子交换混床（EDI电除盐系统）、超纯水储存装置、精密过滤系统等构成主要设备系统。系统水箱设有液位控制系统、氮封装置由供氮阀、泄氮阀、 呼吸阀 组成、在线水质检测控制仪表、电气采用模块化组合PLC，及通信远程输送至中控室上位机，实现现场就地和集中控制两种操作方式，降低了人工的操作复杂度和维护工作量等，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，或者公司可按照客户对于水质的要求进行特殊定制，既能保证用水水质达标，同时降低了所需成本，使该设备与其他同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性

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五、卓水越电子级超纯水系统适用领域：

1、电解电容器生产铝箔及工作件的清洗

2、电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液

3、显像管和阴极射线管生产、配料用纯水

4、黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水

5、液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液

6、晶体管生产中主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制

7、集成电路生产中高纯水清洗硅片

8、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路

9、LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏

10、高品质显像管、萤光粉生产

11、半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗

13、超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料

六、卓水越电子级超纯水系统用水标准：

符合美国ASTM纯水水质标准、电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准